MEMS等技术发展使微传感器成为可能 2015-08-14
摘要：智能传感器这一概念是由国外引进的，通常定义为带有微处理器，具有信息处理功能的传感器，传感器很大程度上能让物体慢慢变得活了起来。笔者获悉，随着物联网技术的发展，智能传感器将迎来发展契机。进入21世纪后，MEMS技术、低能耗的模拟和数字电路技术、低能耗的无线射频(RF)技术、传感器技术的
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关键词： 半导体 传感器 MEMS传感器
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