图4. QMEMS技术的优势
采用QMEMS技术的角速度传感器——小型化、高稳定性
另外一种应用QMEMS技术的产品是角速度传感器,也就是陀螺仪。谁都知道数码相机的防抖功能,但您是否知道这项防抖技术中使用了角速度传感器的事实呢?EPSON的角速度传感器以水晶为材料,实现了小型化并达到了高度的稳定性。为此,被很多的数码相机所采用。
“EPSON的角速度传感器由于使用了水晶为原料,所以即使周围温度发生变化,其灵敏度和零点输出也能保持稳定。”张永龙指出。如下图5所示,蓝色的线表示EPSON的角速度传感器,当周围温度发生变化时,其灵敏度与输出也保持一定,并且,停止时也能正确地检测出“停止”,所以即使是微小的动作,也能正确地测试出。
图5. EPSON的角速度传感器由于使用了水晶为原料,所以即使周围温度发生变化,灵敏度、零点输出也能保持稳定。