尽管MEMS谐振器技术已经解决了石英晶体的基本缺陷，但刚刚进入竞争激烈的频率控制市场，它也存在一些缺点。首先，MEMS器件小于石英晶体，所以无法提供更多能量到振荡周期。这意味着，在相同的频率下转换效率低，从而造成信噪比较差。第二，传统的MEMS材料，例如单晶硅、多晶硅，甚至聚硅锗，随温度变化的漂移显著，这会带来信号完整性和热滞问题。
2010年，SiliconLabs通过收购一家名为SiliconClocks的公司，获得了在大批量生产中把MEMS架构直接构建于标准CMOS晶圆上，实现完全集成的、高可靠性的CMEMS技术。“在标准CMOS芯片上集成高精度振荡器的梦想，已经由SiliconLabs公司和他们最新推出的Si50xCMEMS振荡器系列变为现实。”StevenZhang表示。
CMEMS技术是频率控制市场的重要技术进步。通过结合MEMS和CMOS两者的最好特性，CMEMS可编程振荡器能够为成本和功耗受限的嵌入式、工业和消费类电子应用提供最佳的通用型振荡器解决方案。
CMEMS相比XO的优势
相比传统的石英晶体振荡器(XO)，Si50xCMEMS可编程振荡器主要有下面这些优点：
1、针对成本、空间和功耗敏感型应用的通用振荡器；
2、定制样片交付时间少于2周；
3、直接替换晶体振荡器(XO)；
4、在客户现场使用现场编程器立即定制样片；
5、高稳定性和可预见性供应链；
6、在全温度范围、撞击、震动等环境下，具有10年的高稳定频率输出；
7、性能与XO相比，在震动、撞击、温度和老化环境下更可靠。
传统的石英供应链复杂、高成本，且低效率。他们高定制化的制造流程（几周到几个月的交付时间）不仅增加供应链的管理难度，同时还限制参考振荡器产生的频率范围。随着计算、通信和网络装置的数据速率的增长，这种限制对提供高质量高频时钟信号时钟的合成将产生更多压力。CMEMS工艺流程极大简化了供应链。大大缩短交付时间（小于2周）和从kHz到GHz输出频率的无限可编程性。
